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    了解一下擴散硅壓力傳感器的技術(shù)特點

    發(fā)布時間: 2020-06-18  點擊次數(shù): 2502次
      今天讓我們一起來了解一下擴散硅壓力傳感器的技術(shù)特點
     
      1、 靈敏度高
     
      擴散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50~80倍,它的滿量程信號輸出在80-100mv左右。對接囗電路適配性好,應(yīng)用成本相應(yīng)較低。由于它輸入激勵電壓低,輸出信號大,且無機械動件損耗,因而分辯率*。
     
      2、 精度高
     
      擴散硅壓力傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三位一體,無機械動件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),所以不重復(fù)性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好萊塢,形變小,因而傳感器的線性也非常好。因此綜合表態(tài)精度很高。
     
      3、 可靠性高
     
      擴散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級,膜片大位移量在來微米數(shù)量級,且無機械磨損,無疲勞,無老化。平均*時間長,性能穩(wěn)定,可靠性高。
     
      4、頻響高
     
      由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高,一般在50KC。制造過程采用了集成工藝,膜片的有效面積可以很小,配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設(shè)計,使傳感器頻率響應(yīng)很高,使用帶寬可達零頻至100千赫茲。
     
      5、 度性能好
     
      隨著集成工藝技術(shù)進步,擴散硅敏感膜的四個電阻一致性得到進一步提高,原始的手工補償已被激光調(diào)阻、計算機自動休整技術(shù)所替代,傳感器的零位和靈敏度溫度系數(shù)已達10-5/℃數(shù)量級,工作溫度也大幅度提高。
     
      6、 抗電擊穿性能好
     
      由于采用了特殊材料和裝配工藝,擴散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用,在強磁場、高電壓擊穿試驗中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊。
     
      7、 耐腐蝕性好
     
      由于擴散硅材料本身優(yōu)良的化學(xué)防腐性能好,即使傳感器受壓面不隔離,出能在普通使用中適應(yīng)各種介質(zhì)。硅材料又與硅油有良好的兼容性,使它在采用防腐材料隔離時結(jié)構(gòu)工藝更易于實現(xiàn)。加之它的低電壓、低電流、低功耗、低成本和本質(zhì)安全防爆的特點,可替代諸多同類型的同功能產(chǎn)品,具有優(yōu)良的性能價格比。
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